Ürüne Genel Bakış

Yuvarlak Titanyum Püskürtme Hedefleri, magnetron püskürtme ve fiziksel buhar biriktirme (PVD) sistemleri için yüksek-saflıkta katot kaynak malzemesi olarak hizmet eder. Vakumla-eritilmiş titanyum külçelerden üretilen bu dairesel hedefler, yarı iletken, optik ve dekoratif kaplama hatlarında istikrarlı plazma deşarjı, öngörülebilir ince-film büyüme oranları ve tutarlı elektrik iletkenliği sağlamak için tekdüze mikro yapılar sunar.

Teknik Özellikler

Saflık	1. Derece (%99,5), 2. Derece (%99,7), %99,9 (3N), %99,95 (3N5), %99,99 (4N), %99,995 (4N5)
Standart Çaplar	2 inç ila 16 inç (talep üzerine özel boyutlar mevcuttur)
Kalınlık Aralığı	3 mm'den 20 mm'ye
Mikroyapı	Eş eksenli tane dağılımı ile ortalama tane boyutu < 100 um
Yoğunluk	> 4.51 g/cm3 (>%99,5 teorik yoğunluk)
Destek Plakası Malzemeleri	Bakır (OFHC), Oksijen-siz bakır veya Alüminyum (İndiyum veya elastomer bağlama mevcuttur)
Yüzey İşlemi	İşlenmiş, alıştırılmış veya cilalanmış (Ra<= 0.4 um), vacuum-cleaned and vacuum-packed

Temel Özellikler

İnce ve Düzgün Tane Boyutu:Kontrollü termo-mekanik işlem, lokal aşırı ısınmayı önleyerek, yüksek-güçlü biriktirme çalışmaları sırasında parçacık oluşumunu ve iğne deliği kusurlarını azaltır.
Düşük Gaz Kirlilikleri:Oksijen, nitrojen, karbon ve hidrojenin kontrollü arayer seviyeleri, vakum odası içindeki mikro{0}arklamayı en aza indirir.
Yüksek Metalurjik Yapışma Mukavemeti:Ultrasonik tarama, titanyum hedef karo ile bakır destek plakası arasındaki >%95'lik bağlanma kapsamını doğrulayarak optimum termal ve elektrik aktarımını sağlar.
Hassas Boyutsal Toleranslar:CNC işleme, tam sistem uyumu için dış çap ve kalınlık toleranslarını +/- 0.1 mm dahilinde tutar.

Uygulamalar

Yarı İletken ve Mikroelektronik:Entegre devreler için kapı elektrotu biriktirme, difüzyon bariyerleri ve tohum katmanları.

Optik Kaplamalar:-Yansımayı önleyici (AR) kaplamalar, optik filtreler ve hassas lens geliştirmeleri.

Mimari ve Otomotiv Camları:Enerji-verimli camlama için düşük-emisyonlu (Düşük-E) kaplamalar ve güneş kontrol filmleri.

Dekoratif ve Aşınmaya- Dirençli PVD:Donanım, kol saatleri ve kesici aletler için titanyum nitrür (TiN) veya titanyum karbo-nitrür (TiCN) işlevsel katmanlar.

Özelleştirme ve Üretim

Üretimde vakum indüksiyonlu eritme (VIM), vakumlu ark yeniden eritme (VAR), çok-yönlü dövme ve hassas haddeleme kullanılır. Bu işleme yolu, iç büzülme boşluklarını ortadan kaldırmak için döküm yapılarını parçalar.
Özel Geometriler:Belirli katot tabancalarıyla (ör. Angstrom Sciences, AJA International, Lesker) eşlenen kademeli kenarlar, eğimler, dişli soğutma delikleri ve -standart dışı çaplar.
Yapıştırma Hizmetleri:İndiyum bağlama ve elastomer bağlama, termal ayırma olmadan yüksek güç yoğunluklarına dayanmak için-şirket içinde gerçekleştirilir.

Kalite Kontrol ve Sertifikalar

Kimyasal Analiz:İndüktif Eşleşmiş Plazma Kütle Spektrometrisi (ICP-MS) ve Parlayan Deşarj Kütle Spektrometrisi (GDMS), eser metalik ve ara element konsantrasyonlarını doğrular. Her parti özel bir Analiz Sertifikası (CoA) ile birlikte gönderilir.
-Tahribatsız Muayene (NDT):Ultrasonik C-tarama incelemesi, hedef ile destek plakası arasındaki bağ bütünlüğünü değerlendirir, iç boşlukları veya katmanlara ayrılmayı tarar.
Metalografik İnceleme:Optik mikroskop, tane boyutu dağılımını ve faz homojenliğini doğrular.
Standartlara Uygunluk:ISO 9001:2015 kalite yönetim sistemleri kapsamında üretilmektedir.

Paketleme ve Teslimat

Birincil Ambalaj:Temiz oda-sınıfı vakumlu-kapalı çift polietilen torbalar, inert argon gazıyla doldurulmuştur.
İkincil Ambalaj:Taşıma sırasında kenarların kırılmasını veya yüzeyin çizilmesini önlemek için ağır-ihracat kontrplak kasalarında muhafaza edilen, şok-emici EPE köpük kalıpları asılıdır.
Dokümantasyon Dahil:Analiz Sertifikası, Malzeme Güvenlik Veri Sayfası (MSDS) ve boyutsal inceleme raporu.

SSS

S: Optik uygulamalar için dekoratif PVD'ye kıyasla hangi saflık seviyesini seçmeliyim?

C: Optik ince-film uygulamaları, ışığın emilmesine veya saçılmasına neden olan eser miktarda metalik kalıntıların ortadan kaldırılması için genellikle %99,99 (4N) veya daha yüksek saflık gerektirir. TiN gibi fonksiyonel katmanları işleyen dekoratif kaplama hatları, kaplama stabilitesini malzeme maliyet verimliliğiyle dengelemek için tipik olarak %99,9 (3N) saflık kullanır.

S: Yüksek-güç darbeli magnetron püskürtme (HiPIMS) sırasında hedefin çatlamasını nasıl önlersiniz?

C: Hedef çatlaması, 100 um'nin altında tamamen yeniden kristalleşmiş, ince taneli bir yapı sağlayan katı çok{{0}yönlü dövme ve çapraz-haddeleme geçişleri yoluyla hafifletilir. Bu tekdüze kristal yönelim, yüksek güç yoğunlukları altında termal stresi eşit şekilde dağıtır.

S: Bağlı hedeflerin ve bağlı olmayan monolitik hedeflerin maksimum güç yoğunluğu nedir?

C: Bağlanmamış monolitik hedefler, hedef ile katot desteği arasındaki hava boşluğundaki termal direnç nedeniyle tipik olarak daha düşük güç yoğunluklarıyla sınırlıdır. İndiyum veya elastomer arayüzü kullanan bağlı hedefler, verimli soğutulmuş su akışının korunması koşuluyla daha yüksek güç yüklerini (15 W/cm2'yi aşan) kaldırabilir.

S: Eski veya tescilli püskürtme sistemleri için özel destek plakası çizimlerini eşleştirebilir misiniz?

C: Evet. Üretim, özel destek plakası tasarımlarına uygundur. Mühendislik, STEP, IGES veya 2D PDF çizimlerini belirli su-kanalı konfigürasyonlarına, O-halkası oluk yerleşimlerine ve cıvata-modeli gereksinimlerine uyacak şekilde inceler.

S: Hangi test yöntemleri lehimli hedeflerin bağlanma bütünlüğünü doğrular?

C: Ultrasonik C-tarama-tahribatsız test, tüm birleştirme arayüzünü inceler. Toplam yüzey alanının %5'ini aşan herhangi bir lokal bağlanmamış alan veya boşluk veya 5 mm'den büyük herhangi bir tek boşluk, ret ile sonuçlanır.

S: Prototip ve üretim toplu siparişleri için standart teslim süresi nedir?

C: Standart stok boyutları 3 ila 5 iş günü içerisinde kargoya verilir. Özel-işlenmiş hedefler veya birleştirilmiş düzenekler, malzeme mevcudiyetine ve destek plakası konfigürasyonunun karmaşıklığına bağlı olarak 2 ila 3 hafta gerektirir.

Fiyat Teklifi İste

Resmi bir teklif ve malzeme veri sayfasını 24 iş saati içinde almak için hedef spesifikasyonlarını (saflık, boyutlar, miktar, destek plakası gereksinimleri ve hedef katot modeli) gönderin.

Popüler Etiketler: yuvarlak titanyum püskürtme hedefleri, Çin yuvarlak titanyum püskürtme hedefleri üreticiler, tedarikçiler, fabrika