8613809172622
info@zctitanium.com
trDil
Arama

Titanyum Püskürtme Hedefleri

Ana sayfa / Ürünler / Titanyum Püskürtme Hedefleri
Ürüne Genel Bakış

 

Titanyum Püskürtme Hedefleri, fiziksel Buhar Biriktirme (PVD) sistemlerinde alt tabakalara ince titanyum veya titanyum-bileşik filmleri biriktirmek için kullanılan yüksek-saflıkta sarf malzemeleridir. Eşit püskürtme oranları ve minimum kusur oluşumu için tasarlanan hedeflerimiz, yarı iletken, optik ve dekoratif kaplama hatlarında yüksek-güç darbeli magnetron püskürtme (HIPIMS) ve DC/RF magnetron kurulumlarını destekler.

 
 
Teknik Özellikler

 

Parametre

Şartname Aralığı

Malzeme Saflığı

%99,9 (3N) ila %99,999 (5N)

Standart Kaliteler

ASTM B348 Sınıf 1 / Sınıf 2 (CP Ti), Titanyum Alaşımları (örneğin, TiAl, TiSi)

Yoğunluk

>= 4.51 g/cm3 (>%99,5 teorik yoğunluk, Arşimed ilkesiyle ölçülmüştür)

Ortalama Tane Boyutu

< 100 um (fine, equiaxed microstructure)

Boyutlar (Düzlemsel)

Uzunluk 3000 mm'ye kadar, Genişlik 800 mm'ye kadar, Kalınlık 3-25 mm

Boyutlar (Döndürülebilir)

Dış Çap 400 mm'ye kadar, Uzunluk 4000 mm'ye kadar

Destek Plakası

OFHC Bakır (C10200 / C11000) veya Alüminyum (6061)

Bağlama Teknolojisi

İndiyum bağlama, Elastomer bağlama veya Difüzyon bağlama (Boşluk oranı < %1)

 

Temel Özellikler

İnce Mikroyapı

Kontrollü termo-mekanik işlem, ortalama tane boyutunun 100 um'nin altında olmasını sağlayarak, tekdüze erozyon profilleri sağlar ve tercihli püskürtmeyi önler.

Gaz Saflık Kontrolü

Vakum indüksiyonlu eritme (VIM) ve elektron ışınıyla eritme (EBM) işlemleri, ara gaz safsızlıklarını (O, N, H, C) kesinlikle en aza indirir.

Yüksek Isı İletkenliğine Sahip Bağlanma

OFHC bakır destek plakalarına difüzyon veya indiyum bağlanması, yüksek-yoğunluklu plazma deşarjı altında hedefin bükülmesini ve erken çatlamasını önler.

Düşük Partikül Üretimi

Yüksek yoğunluk ve dahili mikro{0}boşlukların bulunmaması, uzun kaplama işlemleri sırasında ark oluşumunu ve nodül oluşumunu bastırır.

 

Uygulamalar
 

Yarı İletken ve Mikroelektronik

 

IC üretiminde bariyer katmanlarının, temas katmanlarının ve ara bağlantı tohum katmanlarının birikmesi.

Düz Panel Ekranlar (OLED/LCD)

 

İletken ve piksel-sürücü ince-film transistör (TFT) katmanlarının oluşumu.

Optik Kaplamalar

 

Yansıma önleyici (AR) kaplamalar, filtre katmanları ve mimari Düşük-E cam üretimi.

Aşınmaya-Dayanıklı ve Dekoratif Sert Kaplamalar

Kesici takımlarda, otomotiv bileşenlerinde ve sıhhi donanımlarda TiN, TiCN ve TiAlN birikmesi.

 

 

Özelleştirme ve Üretim

Üretim Rotası:Vacuum Melting -> Hot Isostatic Pressing (HIP) / Multi-step Forging -> Precision Machining -> Non-Destructive Testing ->Bağlanma.


Özel Yetenekler:Özel geometriler (dikdörtgen, dairesel, parçalı, dönebilir), özelleştirilmiş destek plakası soğutma kanalı tasarımları ve özel tane yönelimi gereksinimleri.


-Şirket İçi İşleme:CNC frezeleme ve tornalama +/- 0.1 mm dahilinde boyutsal toleranslara ve Ra 0,4 um'ye kadar yüzey pürüzlülüğüne ulaşır.

Grade 2 Titanium Plate

 

Kalite Kontrol ve Sertifikalar

Analitik Test

Eser element analizi için kızdırma deşarjlı kütle spektrometresi (GDMS); Oksijen, nitrojen ve hidrojen ölçümü için LECO gaz analizörleri.

Yapısal Muayene

Bağlanma bütünlüğünü doğrulamak ve arayüz boşluklarını tespit etmek için bağlı hedeflerin %100'ünde ultrasonik test (UT) gerçekleştirildi.

İzlenebilirlik

Her hedef, kesin parti saflığını, safsızlık ppm dağılımını ve yoğunluk testi sonuçlarını ayrıntılı olarak açıklayan bir Analiz Sertifikası (COA) ile birlikte gönderilir.

 

Paketleme ve Teslimat

 

 

Ambalajlama

Nakliye sırasında oksidasyonu ve mekanik hasarı önlemek için,-anti-statik polietilen torbalarda vakumla kapatılmış, güçlendirilmiş ihracat-kaliteli ahşap kasaların içinde şok-emici köpükle paketlenmiştir.

 

Kurşun zamanı

Standart düzlemsel boyutlar için 2 ila 3 hafta; Özel döndürülebilir veya difüzyonla-bağlı yapılandırmalar için 4 ila 6 hafta.

 

Gönderim Koşulları

Hava veya deniz taşımacılığı yoluyla FOB, CIF veya DDP.

 

 

 

SSS

 

 

S: Dekoratif kaplamalara göre yarı iletken uygulamalar için hangi saflık derecesi gereklidir?

C: Yarı iletken uygulamaları, elektriksel özelliklerin değişmesinden kaynaklanan eser miktarda metalik kirlenmeyi önlemek için genellikle %99,995 (4N5) ila %99,999 (5N) saflık gerektirir. Dekoratif ve aşınmaya- dirençli sert kaplama uygulamaları genellikle %99,9 (3N) ila %99,95 saflık oranı kullanır, bu da maliyet ve işlevsel performansı dengeler.

S: Yüksek-güçlü püskürtme sırasında hedefin çatlamasını nasıl önlersiniz?

C: Hedefteki çatlama, ince, tekdüze tane boyutunun korunmasıyla azaltılır (< 100 um), high theoretical density (>%99,5) ve termal yükleri verimli bir şekilde dağıtan sağlam difüzyon-bağlı veya indiyum-bağlı OFHC bakır destek plakaları kullanır.

S: Garanti ettiğiniz maksimum teminat geçersizlik oranı nedir?

C: Sevkiyattan önce ultrasonik C-tarama görüntülemeyle doğrulanan, toplam bağlı yüzey alanının %1'inden daha az bir arayüzey bağlanma boşluk oranını garanti ediyoruz; böylece lokal aşırı ısınma ve hedef katmanlara ayrılma önleniyor.

S: Büyük kaplama odaları için bölümlenmiş hedefler üretebilir misiniz?

C: Evet. Mimari cam ve ekran kaplama hatlarında sorunsuz kurulum için tasarlanmış modüler, birbirine kenetlenen segmentlerde geniş-alanlı düzlemsel ve dönebilen hedefler üretiyoruz.

S: Özel bir hedef fiyat teklifi istemek için hangi bilgiler gereklidir?

C: Lütfen biliniyorsa PVD sistem modelinizi, hedef geometriyi (düzlemsel veya dönebilir), kesin boyutları (uzunluk, genişlik, kalınlık veya dış çap), malzeme saflık derecesini, destek plakası malzeme gereksinimlerini ve tahmini yıllık tüketim hacmini belirtin.

S: Sevkiyattan önce hedefler nasıl temizleniyor ve paketleniyor?

C: Hedefler, işleme kalıntılarını gidermek için ultra-saf solventler içinde ultrasonik temizliğe tabi tutulur, temiz oda ortamlarında kurutucularla-vakumla kapatılır ve nitrojenle-temizlenmiş veya ağır-işe uygun ahşap kaplarda paketlenir.

 

modular-1
Fiyat Teklifi İste

Özel biriktirme sisteminiz için teknik teklif ve fiyat teklifi almak için lütfen PVD sistem modelinizi, gerekli saflığı, boyutları ve tahmini miktarları belirtin. Mühendislik ekibimiz malzeme mevcudiyeti ve teslimat programlarıyla birlikte 24 iş saati içinde yanıt verir.

Biz, Çin'deki üreticileri ve tedarikçileri hedef alan, yüksek kalitede özelleştirilmiş hizmet sunma konusunda uzmanlaşmış profesyonel titanyum püskürtmeyiz. Lütfen burada stokta bulunan indirimli titanyum püskürtme hedeflerini satın almaktan ve fabrikamızdan ücretsiz numune almaktan çekinmeyin. Fiyat danışmanlığı için bizimle iletişime geçin.