Ürüne Genel Bakış
Özel Titanyum Püskürtme Hedefleri, fiziksel buhar biriktirme (PVD) sistemleri için yüksek-saflıkta kaynak malzeme görevi görür. Yarı iletken, optik ve aşınmaya- dirençli kaplama uygulamaları için tasarlanan bu hedefler, ince, eş eksenli tane yapıları elde etmek için vakum indüksiyonlu eritme veya toz metalurjisi ve ardından çok-termo-mekanik işleme yoluyla işlenir. Düzlemsel (dikdörtgen, dairesel) ve dönebilen konfigürasyonlarda mevcuttur ve metal bağlama yoluyla bakır veya alüminyum destek plakalarıyla eşleştirilmiştir.
Teknik Özellikler
|
Parametre |
Şartname Aralığı |
Test Yöntemi ve Görsel Referans |
|
Malzeme Saflığı |
%99,9 (3N) ila %99,995 (4N5) |
GDMS (Glow Deşarj Kütle Spektrometresi) • Örnek GDMS test sertifikasını görüntüleyin: [PDF İndir / Raporu Görüntüle] |
|
Yoğunluk |
>= 4.50 g/cm^3 (>%99,5 teorik) |
Arşimet daldırma yöntemi |
|
Ortalama Tane Boyutu |
< 100 um (customizable to < 50 um) |
EBSD / Metalografik mikroskop • Mikroskobik tane yapısı görüntüsünü görüntüleyin: [SEM Mikrografını İnceleyin] |
|
Boyutlar |
400 mm'ye kadar çap (düzlemsel); 3500 mm'ye kadar uzunluk (döndürülebilir) |
CMM lazer tarayıcı |
|
Destek Plakası |
OFHC Bakır, Derece 2 Titanyum, Alüminyum alaşımları |
Bağ boşluk oranı için ultrasonik test |
|
Bütünlük Bağlama |
>%95 yapışma alanı kapsamı |
Ultrasonik C-tarama • C-tarama kusur haritasını görüntüleyin: [Ultrasonik Taramayı İnceleyin] |
Temel Özellikler
Düzgün Mikroyapı:Kontrollü termomekanik yollar, yerel sert noktaları ortadan kaldırarak yüksek-güçlü DC veya RF püskürtme çalışmaları sırasında ark oluşumunu ve parçacık oluşumunu en aza indirir.
Düşük Gaz Kirlilikleri:Ara elementler (Oksijen, Azot, Karbon, Hidrojen), film kırılganlığını ve elektriksel direnç ani artışlarını önlemek için 500 ppm'nin altında sıkı bir şekilde kontrol edilir.
Güvenilir Termal Arayüz:İndiyum, elastomer veya gümüş-epoksi bağlama, yüksek ısı iletkenliği sağlayarak, yüksek ısı akışı altında hedefin bükülmesini ve çatlamasını önler.
Hassas İşleme Toleransları:CNC frezeleme, sıkı düzlük toleransları (+/- 0.05 mm) ve güvenli katot kurulumu uyumu sağlar.
Uygulamalar
Yarı İletken ve Mikroelektronik:Bariyer katmanlarının, temas metallerinin ve silikon plakalar üzerindeki ara bağlantı tohumlarının PVD biriktirilmesi.
Optik Kaplamalar:Magnetron püskürtme yoluyla -yansıtıcı olmayan (AR) kaplamalar, filtre katmanları ve mimari düşük-E cam biriktirme.
Aşınmaya- Dayanıklı ve Dekoratif:Kesici aletler, tıbbi implantlar ve tüketici elektroniği donanımı için TiN, TiAlN ve TiCN sert kaplamalar.
Araştırma ve Geliştirme:Üniversite ve kurumsal ince film laboratuvarları için özel alaşım bileşimleri ve özel tane boyutları.
Özelleştirme ve Üretim
Hedefler doğrudan müşteri CAD dosyalarından ve özel oda geometrilerinden oluşturulur.
Eritme ve Şekillendirme:Vakum Ark Yeniden Eritme (VAR) ile eşleştirilmiş Vakum İndüksiyonlu Eritme (VIM), düşük ayrışma sağlar. Daha sonraki sıcak dövme ve haddeleme işlemleri,-döküm dendritler halinde parçalanır.
İşleme Yetenekleri:Çok-eksenli CNC frezeleme, torna tornalama ve tel erozyon, karmaşık geometrileri, dişli soğutma kanallarını ve belirli kenar eğimlerini işler.
Destek Plakası Entegrasyonu:Şirket içi yapıştırma tesislerinde, hedef karoları bakır veya alüminyum destek borularına birleştirmek için vakumlu lehimleme ve presleme ekipmanı kullanılır; bu, tahribatlı kesme testleri ve ultrasonik taramayla doğrulanır.
Kalite Kontrol ve Sertifikalar
Her üretim partisi paketlemeden önce sıkı bir denetime tabi tutulur.
Analitik Test:Metalik ve ara madde safsızlık seviyelerini doğrulamak için her partiyle birlikte GDMS analiz raporları sağlanır.
-Tahribatsız Muayene (NDT):Birleştirilmiş düzenekler üzerindeki %100 ultrasonik C-tarama denetimi, dahili katmanlaşmayı veya çapı 2 mm'ye kadar olan boşlukları tespit eder.
Boyutsal Doğrulama:Lazer CMM denetimi, kritik montaj boyutlarını ve yüzey düzlüğünü kaydeder.
Standartlara Uygunluk:ISO 9001:2015 kalite yönetim sistemleri kapsamında üretilmektedir.
Paketleme ve Teslimat
Vakum Sızdırmazlık:Hedefler, Sınıf 10.000 temiz oda ortamında, anti-statik vakum torbalarında temizlenir, kurutulur ve hava geçirmez şekilde kapatılır.
Koruyucu Yastıklama:Yüzey çizilmelerini, kenar kırılmalarını ve nakliye şokunu önlemek için özel-kalıplanmış yüksek-yoğunluklu polietilen (HDPE) köpük ve sağlam ahşap kasalarla paketlenmiştir.
Nakliye Belgeleri:Her gönderide Analiz Sertifikası (COA), malzeme güvenlik veri sayfası (MSDS) ve boyut inceleme raporu bulunur.
SSS
S: Titanyum püskürtme hedefleri için mevcut maksimum saflık nedir?
C: Standart üretimde %99,995 (4N5) saflığa ulaşılır. Yarı iletken uygulamalarına yönelik özel kaliteler, oksijen seviyelerini 300 ppm'nin altında tutmak için kontrollü gaz azaltımına tabi tutulur.
S: Yüksek-güçlü püskürtme sırasında ark oluşumunu nasıl önlersiniz?
C: İnce, tek biçimli tane boyutunun korunmasıyla arklanma azaltılır (< 100 um) and low interstitial gas content. This eliminates localized density variations and inclusion sites that cause plasma discharge instability.
S: Özel boyutlar için standart geri dönüş süresi nedir?
C: Standart düzlemsel hedefler 2 ila 3 hafta içinde gönderilir. Özel destek plakaları ve yapıştırma gerektiren özel döndürülebilir hedefler veya düzenekler genellikle 4 ila 6 hafta sürer.
S: Hedefleri bakır destek plakalarına önceden-bağlanmış olarak tedarik edebilir misiniz?
A: Yes. Copper, aluminum, and titanium backing plates are integrated using Indium solder or elastomer bonding, verified by ultrasonic C-scan testing for >%95 tahvil teminatı.
S: Malzeme Test Raporunda (MTR) hangi veriler yer alıyor?
C: Her gönderi, GDMS kimyasal safsızlık analizini, yoğunluk ölçümlerini, tane boyutu dağılım verilerini ve ultrasonik bağlanma inceleme haritalarını içerir.
S: Tescilli hedef tasarımları için-Gizlilik Anlaşmalarını (NDA'lar) imzalıyor musunuz?
C: Evet. Özel çizimler, tescilli alaşım oranları ve özel katot arayüz tasarımları, teknik inceleme öncesinde standart kurumsal NDA'lar kapsamında korunmaktadır.
Fiyat Teklifi İste
Resmi bir teknik teklif almak ve 24 saat içinde teslim süresi tahminini almak için hedef boyutlarınızı, saflık derecesini, miktarını ve destek plakası gereksinimlerinizi sağlayın.
[RFQ Gönder / Çizimleri Yükle]
Popüler Etiketler: özel titanyum püskürtme hedefleri, Çin özel titanyum püskürtme hedefleri üreticiler, tedarikçiler, fabrika